Master'sOpen Access

ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması

2011
0 views
0 downloads
Advisor: Prof. Dr. Hamide Kavak

Abstract (TR)

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) sistemi kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında çinko nitrür ve çinko oksit ince filmler üretildi. Çinko nitrür filmlerin 450 °C de tavlanmasıyla p-tipi ZnO (Çinko Oksit) ince filmler elde edildi. Doğal olarak n-tipi olan çinko oksit ince filmler de 450 °C de tavlandı. İnce filmlerin optik özellikleri belirlendi. Bu ince filmler üzerine Ag (Gümüş), Al (Alüminyum), In (İndiyum) metalleri Vakum Termal Evaporasyon sistemi ile kontaklar yapıldı. Bu örneklerin I-V ölçümleri yapılarak kontakların özellikleri araştırıldı. Kontaklar omik olarak bulundu.Anahtar Kelimeler: PFCVAD, ZnO, omik Kontak, Doğrultucu (Schottky) Kontak

Author

Nihal Tozlu

How to Cite

Nihal Tozlu (Yüksek Lisans Tezi). ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması, 2011, Çukurova University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Çukurova University