Yüksek LisansAçık Erişim

ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması

2011
0 görüntülenme
0 i̇ndirme
Danışman: Prof. Dr. Hamide Kavak

Özet (TR)

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) sistemi kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında çinko nitrür ve çinko oksit ince filmler üretildi. Çinko nitrür filmlerin 450 °C de tavlanmasıyla p-tipi ZnO (Çinko Oksit) ince filmler elde edildi. Doğal olarak n-tipi olan çinko oksit ince filmler de 450 °C de tavlandı. İnce filmlerin optik özellikleri belirlendi. Bu ince filmler üzerine Ag (Gümüş), Al (Alüminyum), In (İndiyum) metalleri Vakum Termal Evaporasyon sistemi ile kontaklar yapıldı. Bu örneklerin I-V ölçümleri yapılarak kontakların özellikleri araştırıldı. Kontaklar omik olarak bulundu.Anahtar Kelimeler: PFCVAD, ZnO, omik Kontak, Doğrultucu (Schottky) Kontak

Yazar

Nihal Tozlu

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Nihal Tozlu (Yüksek Lisans Tezi). ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması, 2011, Çukurova University.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Çukurova University tezlerinden daha fazlası