Alüminyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri

Bu çalışmada, püskürtme yöntemi kullanılarak farklı Al oranlarında (%1, %3,%5) katkılanmış Al katkılı ZnO filmleri cam tabanlar üzerinde elde edilmiştir.Katkısızve Al katkılı ZnO filmlerinin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri incelenmiştir. X-ışını kırınım desenlerinden elde edilen filmlerin hekzagonal ve polikristal yapıdaolduğu belirlenmiştir. Yapılanma sabitleri, tanecik boyutları ve örgü sabitlerihesaplanmıştır. Filmlerin yasak enerji aralıkları dalgaboyunun bir fonksiyonu olarakoptik absorbsiyon ölçümleri ile araştırılmış ve değerlerinin 3,2-3,3 eV arasında olduğubulunmuştur.Filmlerin ortalama optik geçirgenliklerinin %80'nin üzerinde olduğubelirlenmiştir. Absorpsiyon spektrumlarından yararlanarak filmlere ait optikgeçirgenlik, yansıma, kırılma indisi, sönüm katsayısı, dielektrik sabitleri gibi optiksabitleri de hesaplanmıştır.Filmlerin elektrik özellikleri Van der Pauw metodu kullanılarak araştırılmış vefilmlerin özdirenç değerleri 0,26 Ωcm-1,13 Ωcm arasında bulunmuştur.Anahtar Kelimeler: ZnO, Püskürtme Yöntemi, Yapısal Özellikler, Optik Özellikler,Optik Sabitleri, Van der Pauw Yöntemi