Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri

Meryem Derya Özdemir

Yüksek LisansAçık Erişim

TR

|EN

Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri

Bu tez size mi ait?

Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.

2006

0 görüntülenme

0 i̇ndirme

Danışman: Prof.dr. Hamide Kavak

Özet (TR)

ÖZYÜKSEK LİSANSATMALI PLAZMA KATODİK ARK YÖNTEMİ İLE ELDE EDİLEN ZnOİNCE FİLMLERİN OPTİK VE YAPISAL ÖZELLİKLERİMERYEM DERYA ÖZDEMİRÇUKUROVA ÜNİVERSİTESİFEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜFİZİK ANABİLİM DALIDanışman: Prof. Dr. Hamide KAVAKYıl: 2006, Sayfa: 106Jüri: Prof. Dr. Hamide KAVAKProf. Dr. Ramazan ESENProf. Dr. Birgül YAZICIBu çalışmada Palslı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama yöntemi ile ZnOince filmler oda sıcaklığında cam ve silisyum olmak üzere iki ayrı alttaban üzerineaynı kalınlık farklı basınçlarda ve aynı basınç farklı kalınlıklarda üretildi. Elde edilenfilmlerin optik ve yapısal özelliklerinin kalınlık ve basınç değişiminden nasıletkilendiği araştırıldı.Anahtar Kelimeler: PFCVAD Yöntemi, İnce Film, ZnOIV

Yazar

Meryem Derya Özdemir

Kurum

Çukurova University

Fen Bilimleri Enstitüsü

Fizik Anabilim Dalı

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Meryem Derya Özdemir (Yüksek Lisans Tezi). Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri, 2006, Çukurova University.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri

Özet (TR)

Yazar

Kurum

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Anahtar Kelimeler

Lisans

Çukurova University tezlerinden daha fazlası