CO gazına duyarlı In2O3 gaz sensörünün üretimi ve karakterizasyonu

In2O3 ince filmler, Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) yöntemi ile oda sıcaklığında 20, 30, 40 ve 50 SILAR turlarında cam taban malzemeler üzerine başarılı bir şekilde büyütüldü. İnce filmlerin yapısal, morfolojik, kimyasal bileşen ve CO gaz algılama özellikleri üzerinde SILAR turunun etkisi, sırasıyla XRD, SEM, EDAX ve gaz ölçüm sistemi ile incelendi. XRD ve SEM çalışmaları, ince filmlerin In2O3'ün kübik fazına sahip polikristal yapıda olduğu ve ince filmlerin yapısal ve morfolojik özelliklerinin SILAR turuna bağlı olduğunu göstermiştir. CO gaz algılama ölçümleri sıcaklığın ve gaz konsantrasyonunun bir fonksiyonu olarak gerçekleştirildi. İnce filmlerin algılama yanıtları çalışma sıcaklığı ile arttı ve 222 °C'de maksimum değere ulaştı. In2O3 ince film sensörleri, 222 °C çalışma sıcaklığında 1-100 ppm CO gaz konsantrasyonuna maruz kaldığında yüksek algılama yanıtları gösterdiler. Optimum çalışma sıcaklığında (222 °C) ve 50 ppm CO gaz konsantrasyonunda 20,30, 40 ve 50 SILAR turlarına sahip In2O3 ince film sensörlerinin algılama yanıtları sırasıyla %47, %84, %74 ve %63 olarak hesaplandı. 30 SILAR turuna ait ince filmin gaz algılama özelliklerinin diğerlerinden daha iyi olduğu görüldü.