Yüksek LisansAçık Erişim

Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sisteminin optimizasyonu

Bu tez size mi ait?

Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.

2011
0 görüntülenme
0 i̇ndirme

Özet (TR)

Bu çalışmada, Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) sistemi gerçekleştirildi. Sistemin güç ve gaz akış oranı değiştirilerek plazma oluşma ve stabilizasyon koşulları belirlendi. Bu sistem kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında karbon (C) bazlı yarıiletken ince filmler üretildi. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Bu filmler üretilirken, en iyi filmi üretmek için sistemin güç, basınç ve gaz akış oranı değerleri optimize edildi. Elde edilen karbon bazlı yarıiletken ince filmlerin optik ve elektriksel özellikleri incelendi.

Yazar

Saadet Yıldırımcan

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Saadet Yıldırımcan (Yüksek Lisans Tezi). Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sisteminin optimizasyonu, 2011, Çukurova University.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Çukurova University tezlerinden daha fazlası