Sers raman amaçlı altın ve gümüş kaplı alttabanlar üretimi ve MW ECR (mikrodalga elektron siklotron rezonans) yöntemiyle üretilmiş DLC ince filmlerde uygulanması

Bu çalışmada, DLC ince filmler cam, altın (Au) ve gümüş (Ag) nanoparçacıklar kaplı alttaban üzerine MW ECR plazma depolama sistemi ile üretildi. Filmlerin üretimi MW gücü basınç ve gaz akış oranı değiştirilerek oda sıcaklığında üretildi. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Optik özellikleri (geçirgenlik ve soğurma verileri ile soğurma kenarı, enerji bant aralığı) hesaplandı ve filmlerin yüzey morfolojisi AFM ile yapısal özellikleri XRD ile belirlendi. Filmlerin moleküler yapısı infrared (IR) spektrofotometresi ve titreşimsel özellikleri Raman spektrometresi ile belirlendi. Ayrıca Au ve Ag kaplı alttabanlar üzerine üretilen DLC ince filmlerinin SERS özellikleri ve güçlendirme faktörleri (EF) hesaplandı.