Sol-jel tekniğiyle üretilen piezoelektrik PRZT seramik malzemelerin sentezlenmesi, karakterizasyonu ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi

Piezoelektrik malzemeler sahip oldukları güzel algılama ve hareketlenme kabiliyetleri kadarmikro elektro mekaniksel sistemlerin uygulamaları için de çok ilgi çekicidir. Ayrıca, bumalzemelerin harekete geçirici ve algılayıcı ince filmleri, basit tasarım ve parça üretimyöntemine olan uyumundan dolayı enteresandır. Bu bakıs ile, kursun titanyum oksit incefilmleri, cam ve paslanmaz çelik altlıklar üzerine sol-jel kaplama yöntemiyle basarıyla imaledilmistir. Solüsyon, kimyasal bilesiminde üç mol su bulunduran kursun asetat, titanyum dörtisopropoxideve glasiel asetik asidin etilen glikol içerisinde karısımıyla hazırlanmıstır. Filmlerdaldırma ve damlatma teknikleriyle olusturulmustur. Elde edilen bu jel filmler 300 derecede10 dakika kurutulmustur. Kaplama ve kurutma islemleri istenilen kalınlıgı elde etmek içinbirçok kez tekrarlanmıs ve son olarak, oksit ince filmler hava ortamında 600 derecede 60dakika tavlanmıstır. Farklı film kalınlıklarının ve çözücü yogunluklarının ince filmlerde yüzeymorfolojisine olan etkileri incelenmistir. Elde edilen filmler TG/DTA, XRD, SEM/EDS vespektrometre ile karakterize edilmistir. İlaveten, filmlerin elektriksel özellikleri empedanskullanılarak arastırılmıstır. Tabii üretim sartları altında homojen ve perovskit yapılı kusuntitanyum oksit filmlerinin hazırlandıgı bulunmustur. Dielektrik sabiti ve dielektrik kaybı filmkalınlıgına baglı olarak saptanmıstır. Perovskit fazı 400-500 derece arasındaki sıcaklıkbölgesinde gelismeye baslamıs ve tamamen saf perovskit kursun titanyum oksit fazı havaortamında 600 derecede 1 saatte gelistirilmistir. Çatlak ve hatalar içermeyen optimum yüzeymorfolojisine sahip film, çözeltisinde en yüksek miktarda çözücü içeren için bulunabilmistir.Dielektrik sabiti ve dielektrik kaybı degerlerinin film kalınlıgına baglı oldugu saptanmıstır.