DoctorateOpen Access

Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

2020
0 views
0 downloads
Advisor: Prof. Dr. Hamide Kavak

Abstract (TR)

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition, PFCVAD) ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) teknikleri ile cam ve silisyum alttabanlar üzerine karbon nanoduvar filmler depolandı. Üretilen ince filmlerin optik özellikleri UV-VIS-NIR Spektrofotometresi kullanılarak incelendi. Örneklerin kristalografik ve yapısal özellikleri XRD, FTIR ve Raman ölçümleri yapılarak belirlendi. Yüzey morfolojisinin belirlenmesi için ise AFM ve SEM analizleri yapıldı.

Author

Dr. Birsen Kesik Zeyrek

How to Cite

Birsen Kesik Zeyrek (Doktora Tezi). Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu, 2020, Çukurova University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Çukurova University