DoktoraAçık Erişim

Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

Bu tez size mi ait?

Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.

2020
0 görüntülenme
0 i̇ndirme

Özet (TR)

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition, PFCVAD) ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) teknikleri ile cam ve silisyum alttabanlar üzerine karbon nanoduvar filmler depolandı. Üretilen ince filmlerin optik özellikleri UV-VIS-NIR Spektrofotometresi kullanılarak incelendi. Örneklerin kristalografik ve yapısal özellikleri XRD, FTIR ve Raman ölçümleri yapılarak belirlendi. Yüzey morfolojisinin belirlenmesi için ise AFM ve SEM analizleri yapıldı.

Yazar

Birsen Kesik Zeyrek

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Birsen Kesik Zeyrek (Doktora Tezi). Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu, 2020, Çukurova University.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Çukurova University tezlerinden daha fazlası